发明名称 BUMP BONDING DEVICE AND METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH11145175(A) 申请公布日期 1999.05.28
申请号 JP19970308519 申请日期 1997.11.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YONEZAWA TAKAHIRO;KANAYAMA SHINJI;YAMAMOTO AKIHIRO;IMANISHI MAKOTO;YOSHIDA KOICHI
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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