| 发明名称 |
SUBSTRATE FOR MOUNTING SEMICONDUCTOR AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11140658(A) |
申请公布日期 |
1999.05.25 |
| 申请号 |
JP19970302351 |
申请日期 |
1997.11.05 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
HASEGAWA KIYOSHI;TAKAHASHI AKIO;NAKASO AKISHI |
| 分类号 |
C23C18/50;C23C18/52;C23C28/02;H01L23/12;H05K3/24;(IPC1-7):C23C18/52 |
主分类号 |
C23C18/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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