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发明名称
摘要
申请公布号 JP2895671(B2) 申请公布日期 1999.05.24
申请号 JP19920003038 申请日期 1992.01.10
申请人 TOKYO EREKUTORON KK;TOSHIBA KK 发明人 ORII TAKEHIKO;OKUMURA KATSUYA
分类号 B05B15/12;B05B7/00;B05B13/02;B05C11/08;B05D1/02;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05B15/12 主分类号 B05B15/12
代理机构 代理人
主权项
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