| 发明名称 |
SILICON SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11135511(A) |
申请公布日期 |
1999.05.21 |
| 申请号 |
JP19970297158 |
申请日期 |
1997.10.29 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NSC ELECTRON CORP |
发明人 |
IKARI ATSUSHI;SAKAMOTO HIKARI;OHASHI WATARU;HOSHINO TAIZO;YABE AIJI |
| 分类号 |
C30B29/06;C30B33/02;H01L21/322;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
C30B29/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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