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发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINES KOHLENSTOFFILMES AUF EINEM SUBSTRAT
摘要
申请公布号 ATA119098(A) 申请公布日期 1999.05.15
申请号 AT19980001190 申请日期 1998.07.09
申请人 IMS IONEN-MIKROFABRIKATIONS SYSTEME GMBH;UNIVERSITAET GESAMTHOCHSCHULE KASSEL;USTAV POCITACOVYCH SYSTEMOV, SLOVENSKA AKADEMIA VLED 发明人 LOESCHNER HANS DR.;RANGELOW IVAYLO W.;HRKUT PAVOL DIPL.ING. DR.;HUDEK PETER DIPL.ING. DR.
分类号 C23C14/34;C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/22 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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