| 发明名称 |
Method for forming diamond film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0693575(B1) |
申请公布日期 |
1999.05.12 |
| 申请号 |
EP19950111189 |
申请日期 |
1995.07.17 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HIRABAYASHI, KEIJI;YOSHIKAWA, TOSHIAKI |
| 分类号 |
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/507;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C30B29/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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