| 发明名称 |
APPARATUS AND SYSTEM FOR MANAGING MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11126736(A) |
申请公布日期 |
1999.05.11 |
| 申请号 |
JP19970290198 |
申请日期 |
1997.10.23 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OKA KAZUHIRO;ISHII HIROYUKI;SAKURAI KOICHI;ASAHINA MASAKO |
| 分类号 |
H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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