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摘要
申请公布号 JP2888262(B2) 申请公布日期 1999.05.10
申请号 JP19910009080 申请日期 1991.01.29
申请人 TOKYO EREKUTORON KK;TOSHIBA KK 发明人 HASEBE KEIZO;TATEYAMA KYOHISA;YOSHIMOTO JUJI
分类号 B05C5/00;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
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