轴瓦减摩层真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种轴瓦减摩层真空镀膜机的结构:在扁圆形真空室内安有旋转磁控靶,其外圈是靶材料;真空室内还装有主、从动轮,其上支撑着传动链,轴瓦架紧固在传动链上;等离子体处理电极安装在从动轮的中心;真空规管装在真空室顶上,进气管从真空室顶部伸入其内,用本实用新型镀覆的轴瓦减摩层,膜层致密、无杂质,与基底结合力强,耐疲劳强度等级更高,完全克服了电镀时形成的恶劣的工作环境及对环境的污染。

主权项

1．一种轴瓦减摩层真空镀膜机，其特征是，在扁园形的真空室(1)的室壁(14)处，装有法兰(16)，在法兰(16)上装有密封圈(15)；在真空室(1)内的长对称轴位置上，安有2～5个旋转磁控靶(7)，磁控靶(7)的外圈是靶材料(8)；主动轮(2)、从动轮(9)安装在长轴位置两端的对称处，其上支撑着传动链(3)，轴瓦架(4)紧固在传动链(3)上；每个轴瓦架(4)上都装有压板(12)；等离子体处理电极(10)安装在从动轮(9)的中心位置，通过密封结构和绝缘体(11)固定在真空室(1)的后门上，不接触从动轮(9)；真空规管(6)装在真空室(1)的顶上；进气管(5)从真空室(1)的顶部伸入真空室(1)内，其出气口装在磁控靶(7)的正上方，且进气管(5)的出气口与磁控靶(7)的数目一致；在真空室(1)的下方开有抽气口(13)。