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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11121394(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970283417 申请日期 1997.10.16
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OISHI SHU
分类号 H01L21/8238;H01L21/266;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/266;H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
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