发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11121390(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970303544 申请日期 1997.10.17
申请人 FTL:KK 发明人 TAKAGI MIKIO
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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