发明名称 SEMICONDUCTOR APPARATUS AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11121471(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970288706 申请日期 1997.10.21
申请人 NEC CORP 发明人 KONO MICHIHISA
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/417;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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