发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11121460(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970279251 申请日期 1997.10.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SANADA KAZUMASA
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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