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发明名称 Teilchenstrahlgerät mit Energiefilter
摘要
申请公布号 DE19746785(A1) 申请公布日期 1999.04.29
申请号 DE19971046785 申请日期 1997.10.23
申请人 LEO ELEKTRONENMIKROSKOPIE GMBH, 73447 OBERKOCHEN, DE 发明人 WEIMER, EUGEN, DR., 73457 ESSINGEN, DE;BIHR, JOHANNES, 73431 AALEN, DE
分类号 G01Q30/20;H01J37/05;H01J49/44;(IPC1-7):H01J37/05;H01J49/46;G21K1/08 主分类号 G01Q30/20
代理机构 代理人
主权项
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