发明名称 氧化锌薄膜、光电转换元件、及它们的生产方法
摘要 本发明提供了一种在氧化锌晶体(103)晶面上具有X-射线衍射峰的氧化锌薄膜、一种具有该氧化锌薄膜的光电转换元件、和它们的生产方法。通过这些方法,氧化锌薄膜的晶体组织增加,并向该光电转换元件提供了优异的短路电流密度(Jsc)。
申请公布号 CN1215095A 申请公布日期 1999.04.28
申请号 CN98103392.X 申请日期 1998.07.09
申请人 佳能株式会社 发明人 近藤隆治
分类号 C23C16/40 主分类号 C23C16/40
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 龙传红
主权项 1.一种氧化锌薄膜,在它的氧化锌晶体(103)晶面上具有x-射线衍射峰。
地址 日本东京