发明名称 BONDING TOOL
摘要
申请公布号 JPH11111786(A) 申请公布日期 1999.04.23
申请号 JP19970282874 申请日期 1997.09.30
申请人 SHIBUYA KOGYO CO LTD 发明人 SASAKI MOTOI;KAWASAKI YUKIO
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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