| 发明名称 |
MANUFACTURE OF THIN-FILM SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH11111988(A) |
申请公布日期 |
1999.04.23 |
| 申请号 |
JP19970266704 |
申请日期 |
1997.09.30 |
| 申请人 |
SANYO ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
MORIMOTO YOSHIHIRO;SUZUKI KOJI |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/304;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
