Electron beam lens

摘要

Die Erfindung betrifft eine Elektronenstrahl-Linse, enthaltend eine Magnet-Linse zur Beeinflussung eines Elektronenstrahls mit einem ersten und einem zweiten Polschuh, wobei sich ein Magnetfeld zwischen den beiden Polschuhen ausbildet und ferner ein dritter Polschuh vorgesehen ist. Die Linse ist dadurch gekennzeichnet, daß der dritte Polschuh nicht in magnetischem Kontakt mit den beiden anderen Polschuhen steht und in das zwischen dem ersten und zweiten Polschuh ausgebildete Magnetfeld eintaucht und einen Teil des Magnetfeldes auskoppelt. Ferner bezieht sich die Erfindung auf eine Kathoden-Linse sowie eine Elektronenstrahl-Vorrichtung mit einer derartigen Elektronenstrahl-Linse. <IMAGE>