| 发明名称 |
APPARATUS FOR ELECTRICAL DISCHARGE PLASMA TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11106531(A) |
申请公布日期 |
1999.04.20 |
| 申请号 |
JP19970273037 |
申请日期 |
1997.10.06 |
| 申请人 |
SEKISUI CHEM CO LTD |
发明人 |
YARA TAKUYA;YUASA MOTOKAZU |
| 分类号 |
H05H1/46;C08J7/00;C23C16/50;H01L21/205;(IPC1-7):C08J7/00 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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