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发明名称 METHOD OF DIFFUSION BARRIER FILM
摘要
申请公布号 KR0179795(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950062058 申请日期 1995.12.28
申请人 HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. 发明人 CHUN, SUNG-SOON;PARK, JONG-WUK;KIM, DONG-WON;LEE, WON-JUN;RA, RA-KYUN;LEE, SEUNG-YUN;LEE, KYUNG-ILL
分类号 H01L23/52;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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