发明名称 ELEMENT ISOLATION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0183738(B1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19950030084 申请日期 1995.09.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 KIM, YOON-KI
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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