发明名称 WAFER BOAT OF CVD
摘要
申请公布号 KR140827(Y1) 申请公布日期 1999.04.15
申请号 KR19960000078U 申请日期 1996.01.06
申请人 HWANG, CHUL-JU 发明人 HWANG, CHUL-JU
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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