| 发明名称 |
Position detecting system |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0409572(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.14 |
| 申请号 |
EP19900307815 |
申请日期 |
1990.07.17 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MATSUGU, MASAKAZU;SAITOH, KENJI |
| 分类号 |
G01B11/00;G01B11/14;G03F9/00;H01J37/304;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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