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发明名称
HIGH FREQUENCY ANTENNA FOR INDUCTION COUPLING PLASMA AND INDUCTION COUPLING PLASMA SOURCE WITH THE ANTENNA
摘要
申请公布号
JPH1197199(A)
申请公布日期
1999.04.09
申请号
JP19970155928
申请日期
1997.05.29
申请人
ANELVA CORP
发明人
SUNIRU UIKURAMANAYAKA
分类号
H01J27/16;H01Q7/00;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46
主分类号
H01J27/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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