发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE SURFACE D'UN SEMI-CONDUCTEUR, DISPOSITIF CORRESPONDANT ET SEMI-CONDUCTEUR ASSOCIE
摘要
申请公布号 FR2757881(B1) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 FR19960016288 申请日期 1996.12.31
申请人 UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE PARIS VI 发明人 BRIAND JEAN PIERRE
分类号 B82B3/00;B81C1/00;C23C14/04;C23C16/04;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/28 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
主权项
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