发明名称 |
PROCEDE DE TRAITEMENT D'UNE SURFACE D'UN SEMI-CONDUCTEUR, DISPOSITIF CORRESPONDANT ET SEMI-CONDUCTEUR ASSOCIE |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2757881(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
申请号 |
FR19960016288 |
申请日期 |
1996.12.31 |
申请人 |
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE PARIS VI |
发明人 |
BRIAND JEAN PIERRE |
分类号 |
B82B3/00;B81C1/00;C23C14/04;C23C16/04;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/314;H01L21/316;(IPC1-7):C23C14/28 |
主分类号 |
B82B3/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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