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发明名称
SELF-ARRANGING EXPOSURE METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号
KR0171984(B1)
申请公布日期
1999.03.30
申请号
KR19950048282
申请日期
1995.12.11
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
JANG, JONG-SUK;PARK, CHOL-HEE
分类号
H01L21/027;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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