发明名称 SELF-ARRANGING EXPOSURE METHOD OF THIN FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 KR0171984(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950048282 申请日期 1995.12.11
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 JANG, JONG-SUK;PARK, CHOL-HEE
分类号 H01L21/027;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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