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发明名称 FORMATION OF THIN FILM, THIN FILM FORMING DEVICE AND EVAPORATING SOURCE CRUCIBLE
摘要
申请公布号 JPH1180938(A) 申请公布日期 1999.03.26
申请号 JP19970238583 申请日期 1997.09.03
申请人 SONY CORP 发明人 CHIBA KAZUNOBU
分类号 C23C14/24;C23C14/30;C23C14/32;F27B14/10;G11B5/85;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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