发明名称 Mikrowellenplasma-Bearbeitungsvorrichtung und -verfahren
摘要
申请公布号 DE69416489(D1) 申请公布日期 1999.03.25
申请号 DE19946016489 申请日期 1994.11.10
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SATO, YOSHIAKI, TOKUYAMA-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KATAMOTO, MITSURU, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KAWAHARA, HIRONOBU, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;SORAOKA, MINORU, KUMAGE-GUN, YAMAGUCHI-KEN, JP;UMEMOTO, TSUYOSHI, HIKARI-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KIHARA, HIDEKI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KUDO, KATSUYOSHI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;YUKIMASA, TOORU, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KAKUTANI, HIROFUMI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 H05H1/46;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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