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发明名称
THERMAL SHIELD APPARATUS OF SEMICONDUCTOR DIFFUSION SYSTEM
摘要
申请公布号
KR0134672(Y1)
申请公布日期
1999.03.20
申请号
KR19950055206U
申请日期
1995.12.30
申请人
HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD
发明人
KANG, HYUNG-CHANG;SUNG, NOH-YONG
分类号
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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