发明名称 Herstellverfahren für ein Bitleitungskontaktloch einer Speicherzelle
摘要
申请公布号 DE59407764(D1) 申请公布日期 1999.03.18
申请号 DE19945007764 申请日期 1994.09.05
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 MELZNER, HANNO, DIPL.-PHYS., D-85655 GROSSHELFENDORF, DE
分类号 H01L21/768;H01L21/82;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
地址