| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAFER CHAMFER FACE POLISHING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1170448(A) |
申请公布日期 |
1999.03.16 |
| 申请号 |
JP19970235250 |
申请日期 |
1997.08.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS CORP |
发明人 |
KAWAGUCHI AKIRA;YANOO AKIHITO;TAKADA MASAO |
| 分类号 |
B24B9/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B9/00 |
主分类号 |
B24B9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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