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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1167754(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970228334 申请日期 1997.08.25
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 HENMI KAZUO;NISHIBE EIJI
分类号 H01L21/316;H01L21/76;H01L21/761;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/823 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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