发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRONIC EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH1167839(A) 申请公布日期 1999.03.09
申请号 JP19970226656 申请日期 1997.08.22
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KANASHIGE KENJI
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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