皮带驱动型半导体制造装置

摘要

[目的]一种皮带驱动方式之半导体制造装置，在制程施行途中发生由皮带之动力传达异常时将此尽快被作业者获知而采取措施。[构造]追加接近被动滑车21来设置而能产生与目的物之距离呈对应之电讯之静电容量型近接距离感知器(Proximity sensor)40，将此感知器40之输出电压放大之电压放大部50，将此放大部50之类比输出信号转换成数位信号之A/D转换部60，判定该皮带之动力传达是否异常来施行控制之微处理机70，将此微处理机70控制之动力传达状态分别显示及警报之显示部81及警报部82，及测定供给马达10之电流量之电流计83。

主权项

1.一种皮带驱动型之半导体制造装置,其具有从马达经由皮带将一旋转动力传达被动滑车来驱动负荷之驱动系统,其包含:一感知器,该感知器与上述被动滑车接近地设置而能产生该感知器与上述皮带之距离之一第一电讯;将该第一电讯放大而产生一放大的放大器;将该放大电压转换成数位信号之A/D转换器,测定提供给该马达之电流量并产生一对应该电流量之一第二电讯的手段一控制器,其用于比较该数位信号与一参考信号并决定该皮带是否在该滑车松弛、脱离该滑车或断带而产生一第一控制信号,及用于比较该第二电讯与一参考信号并决定该测定电流量是否正常而产生一第二控制信号;及一显示警报手段,其响应于该第一控制信号而通知一操作者皮带松弛情况,及响应于该第二控制信号而通知该操作者马达之异常电流供给情况。2.如申请专利范围第1项之半导体制造装置,其中该感知器为近接距离感知器。图式简单说明:第一图为以往之皮带驱动方式之半导体之制造装置。第二图为依本创作之皮带驱动方式之半导体之制造装置。