| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR SCANNING IMPURITY COLLECTION LIQUID ON SUBSTRATE SURFACE, METHOD FOR SCANNING GRANULATE AND METHOD FOR COLLECTING IMPURITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1151824(A) |
申请公布日期 |
1999.02.26 |
| 申请号 |
JP19970210625 |
申请日期 |
1997.08.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
KANEKO MINAKO;ISHIZAKI ITSURO |
| 分类号 |
G01N1/00;G01N1/28;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):G01N1/00 |
主分类号 |
G01N1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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