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发明名称
Verfahren zur Verringerung einer räumlichen energiedispersiven Streuung eines Elektronenstrahlenbündels und eine für den Einsatz eines solchen Verfahrens geeignete Elektronenstrahlvorrichtung
摘要
申请公布号
DE69322890(D1)
申请公布日期
1999.02.18
申请号
DE19936022890
申请日期
1993.02.04
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN, NL
发明人
VAN DER MAST, KAREL DIEDERICK, NL-5656 AA EINDHOVEN, NL
分类号
G01Q30/06;G01Q30/20;H01J37/05;H01J37/06;H01J37/26;(IPC1-7):H01J37/05
主分类号
G01Q30/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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