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发明名称 Halbleiterwaferkassettentransportvorrichtung und darin verwendete Lagerungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19816199(A1) 申请公布日期 1999.02.18
申请号 DE1998116199 申请日期 1998.04.09
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 IWASAKI, JUNJI, TOKIO/TOKYO, JP;KATSUBE, JUNICHI, TOKIO/TOKYO, JP;ITAMI, YASUSHI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 B65G1/00;B65G1/137;B65G49/07;G05D1/02;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):B65G49/07;B65G1/02;G06F17/60;H01L21/66 主分类号 B65G1/00
代理机构 代理人
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