发明名称 ELLIPSOMETRE A LAME BIREFRINGENTE TOURNANTE
摘要
申请公布号 FR2756919(B1) 申请公布日期 1999.02.12
申请号 FR19960015006 申请日期 1996.12.06
申请人 ASSOCIATION POUR LA RECHERCHE ET LE DEVELOPPEMENT DES METHODES ET PROCESSUS INDUSTRIELS ARMINES 发明人 ROBERT ANDRE;FEDOROV ALEXANDRE
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01J4/04 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
地址