READ-ONLY MEMORY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Der Nur-Lese-Speicher hat die Form einer integrierten Schaltung (IC). In ihm ist ein erster (D1) und ein zweiter (D2) Datensatz in Form von entsprechenden ersten (S1) beziehungsweise zweiten (S2) Strukturen der integrierten Schaltung (IC) gespeichert. Dabei sin die ersten Strukturen (S1) durch ein lithographisches Projektionsverfahren (L1) unter Verwendung einer Maske (M) und die zweiten Strukturen (S2) durch ein lithographisches Strahlschreibverfahren (L2) ohne Verwendung einer Maske hergestellt. Die Erfindung ermöglicht das Speichern von für den Nur-Lese-Speicher individuellen Daten (D2) innerhalb eines zum grössten Teil maskenprogrammierten ROMs.