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发明名称
IC-Testgerät
摘要
申请公布号
DE19817124(A1)
申请公布日期
1999.02.11
申请号
DE19981017124
申请日期
1998.04.17
申请人
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO, JP
发明人
KIYOKAWA, TOSHIYUKI, KUKI, SAITAMA, JP
分类号
G01R31/26;G01R1/04;H01L23/32;H01R33/76;(IPC1-7):G01R31/26
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
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