发明名称 PLASMA MOCVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1136078(A) 申请公布日期 1999.02.09
申请号 JP19970190836 申请日期 1997.07.16
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YASUI HIDEAKI;KUDO MASATOSHI;TANAKA HIROYOSHI
分类号 C23C16/40;C23C16/50;C23C16/52;(IPC1-7):C23C16/50 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
主权项
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