| 发明名称 |
PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND MASS FLOW CONTROLLER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1122845(A) |
申请公布日期 |
1999.01.26 |
| 申请号 |
JP19970176208 |
申请日期 |
1997.07.01 |
| 申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
TANAKA MAKOTO;TOKUHISA TAIICHI |
| 分类号 |
F16K31/02;G05D7/06;H01L41/083;(IPC1-7):F16K31/02 |
主分类号 |
F16K31/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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