发明名称 Semiconductor device fabrication
摘要
申请公布号 US2981645(A) 申请公布日期 1961.04.25
申请号 US19560607781 申请日期 1956.09.04
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 TUCKER GARDINER L.
分类号 H01L21/00;H01L21/288;H01L23/04;H01L23/42;H01L29/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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