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经营范围
发明名称
POSITIVE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR0166368(B1)
申请公布日期
1999.01.15
申请号
KR19910070940
申请日期
1991.08.19
申请人
SUMITOMO CHEMICAL CO. LTD.
发明人
UETANI, YASUNORI;NAKANISHI, HIROTOSHI
分类号
G03F7/022;G03F7/023;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/022
主分类号
G03F7/022
代理机构
代理人
主权项
地址
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