| 发明名称 |
CONCENTRATED WETTING WATER FOR LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH115376(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970158475 |
申请日期 |
1997.06.16 |
| 申请人 |
DAINIPPON INK & CHEM INC |
发明人 |
TSUSHIMA MOTOHIRO;HOTATE SHOICHI;FUJII HIROKAZU;HAYAKAWA EIJI;OE KOJI;KOJIMA YASUHIKO |
| 分类号 |
B41N3/08;(IPC1-7):B41N3/08 |
主分类号 |
B41N3/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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