| 发明名称 |
VACUUM SENSOR AND MANUFACTURE OF VACUUM SENSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH116778(A) |
申请公布日期 |
1999.01.12 |
| 申请号 |
JP19970173121 |
申请日期 |
1997.06.13 |
| 申请人 |
ESASHI MASAKI;DIA SHINKU KK |
发明人 |
ESASHI MASAKI;MATSUOKA TOSHIMI |
| 分类号 |
G01L7/00;G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L7/00 |
主分类号 |
G01L7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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