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发明名称 Durch Licht gesteigerte Diffusion-Strukturierung von organischen Polymer-Substraten
摘要
申请公布号 DE69320092(T2) 申请公布日期 1999.01.07
申请号 DE19936020092T 申请日期 1993.04.19
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON, DEL., US 发明人 NEBE, WILLIAM JOHN, WILMINGTON, DELAWARE 19808, US;HOLZAPFEL, JOHN KIRK, WILMINGTON, DELAWARE 19805, US
分类号 G03F7/26;G03F1/00;G03F7/004;H01L21/027;H01L21/22;H01L21/30;H05K1/03;H05K1/09;H05K1/16;H05K3/02;H05K3/10;H05K3/46;(IPC1-7):G03F1/00;G03F7/095 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
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