| 发明名称 |
FORMING METHOD OF PROTRUSION STRUCTURE, FORMING METHOD OF LDD STRUCTURE, WIRING FORMING METHOD AND TRENCH FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH113994(A) |
申请公布日期 |
1999.01.06 |
| 申请号 |
JP19970154054 |
申请日期 |
1997.06.11 |
| 申请人 |
MIYAZAKI OKI ELECTRIC CO LTD;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
SEKIYAMA ARIROU |
| 分类号 |
H01L29/43;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L29/43 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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