发明名称 Verfahren zur Ausbildung einer Stufe auf der Oberfläche eines Substrats für die Herstellung einer supraleitenden Anordnung aus einem Oxid-Supraleiter
摘要
申请公布号 DE69502228(T2) 申请公布日期 1998.12.24
申请号 DE19956002228T 申请日期 1995.02.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP 发明人 NAGAISHI, TATSUOKI, C/O ITAMI WORKS OF SUMIMOTO, ITAMI-SHI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/302;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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