| 发明名称 |
Radiation-sensitive composition adapted for roller coating |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG55431(A1) |
申请公布日期 |
1998.12.21 |
| 申请号 |
SG19970004366 |
申请日期 |
1997.12.08 |
| 申请人 |
CLARIANT INTERNATIONAL LTD. |
发明人 |
SUSUKIDA KENJI |
| 分类号 |
G02B5/20;G03F7/004;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G02B5/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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